多晶硅生产工艺流程(简介)
上传用户：炬丰科技
上传日期：2020-12-22
文件类型：DOC
文件大小：15.50K
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多晶硅生产工艺流程,多晶硅最主要的工艺包括，三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化（有的采用氯氢化），精馏，还原，尾气回收，还有一些小的主项，制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理等等。
关键词： 腐蚀 刻蚀
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