电子产品世界

　　德国Carl Zeiss SMT AG已向半导体设备商ASML出货首台EUV光学系统。该公司已使EUV光学系统达到了生产要求。

　　光学系统是EUV设备的核心模块，首台EUV设备预计将在2010年出货。几周前，美国公司Cymer完成了EUV光源的开发，EUV光源是EUV光刻设备另一个关键模块。该技术将使芯片制造商进一步缩小芯片的特征尺寸，提高生产效率。

　　据Carl Zeiss 介绍，目前出货的光学系统已经研发了约15年。

关键词： ASML EUV 光刻设备

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