电子产品世界

　　市场调研机构VLSIResearch近日公布了2008十佳半导体设备厂商。今年获得工艺诊断设备厂商、小型晶圆处理设备厂商和大型晶圆处理设备厂商各个类别桂冠的分别是KeithleyInstruments、SENCorporation和VarianSemiconductor。

　　本次调查结果是来自对芯片制造商4565次调查，受访制造商的产量总和约占全球产量的95％。每家设备供应商在13项指标中进行排名，包括设备性能和客服等。以下是十佳供应商排名：

　　工艺诊断设备供应商

　　在工艺诊断设备供应商中，长期入围前十的KeithleyInstruments和AgilentTechnologies分列第一第二。排在首位的Keithley几乎获得了满分，13项指标中有11项排在首位，表现最出色的是设备运行时间这项。

　　工艺诊断设备供应商的优势在于设备性能，十佳厂商在设备运行时间、有效吞吐量和结果质量等指标都获得了最高得分。

　　小型晶圆处理设备厂商

　　SENCorporation在客户满意度上获得了第一，该公司在5个指标上获得了最高排名，零部件支持和技术领导力得分最高。

　　大型晶圆处理设备供应商

　　VarianSemiconductor在大型晶圆处理设备供应商中拔得头筹。在13项指标中，11项获得了最高排名，其中结果质量得分最高。Novellus排在第二，在拥有者成本方面获得最高分。技术领导力排名第一的是ASML，总排名排在第三。TokyoElectron和Ulvac分列第四第五。

　　以下是2007年这三份榜单的排名：

　　此次受访的芯片制造厂商分布在北美、欧洲、中国大陆、韩国、中国台湾、日本等地，所占比例如下图所示：

关键词： 晶圆 Keithley gilentTechnologies ASML