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母基板大型化的变迁与液晶生产线世代线的关系如图12所示。从各代生产线启动开始年对应的玻璃基板尺寸面积来看，1990年代约3年间以1。8倍的速度在扩大。随着液晶显示画面尺寸的扩大，为提高生产能力，在1枚母基板上能生产出的面板数必须要增加。具体来讲，若1枚母基板上生产出的面板数由4枚增加到6枚，则相当于生产能力提高了1。5倍。或者，为了使画面尺寸变大，1枚母基板上能生产出的面板数变为2枚的时候，可以选择能生产出4枚面板的母基板，这样生产能力会提高2倍，其结果至少可以使画面尺寸扩大1。8倍。也就是说，由于市场要求面板尺寸大型化和生产能力提高，为实现面板成本降低，则母玻璃基板尺寸的不断扩大成为必然趋势。

正因为如此，玻璃基板尺寸持椟扩大的结果是在1990年代的10年间面积比整整扩大了10倍。引用很好的例证，半导体的晶元直径由1980年代初的4＂经过20年扩大为现在的12＂，面积比是原来的7倍，这种扩大之迅速是显而易见的。今后也会如此，在短期内可以看到玻璃基板继续大型化的趋势。

（2）工艺精度的提高

不仅仅是基板尺寸大型化，工艺精度的提高也是非常重要的课题。特别是大型电视用的液晶面板，工艺精度的提高势在必行。以高清晰电视为样本，高精细化、广视角技术等各种各样的最先端技术不断盛行，同时，为达到面板画质的高度均一性，需要设计上有所突破，为此，工艺精度有望得到进一步提高。

工艺精度提高方面主要是配列精度的微细化，贴合精度的提高。画面尺寸变大、画素数增加、配线长度也增加。在较长的配线中，必须要做到没有一处断线。为了防止断线不良发生，需要工艺精度的提高，并实现微细加工，对应大画面来讲，对灰尘的控制要求变得更加严格。

为实现大画面与高精细化，不仅是阵列工程、成盒工程、模组工程的装配，都需要工艺精度进一步提高。工艺精度主要指阵列基板各层之间的重合精度，阵列基板与彩膜基板之间的贴合精度，当然显影精度的提高也是非常必要的。

上述为非晶硅TFT液晶面板的发展动向。低温多晶硅的工艺已经比非晶硅工艺实现了更高精度，相互融合技术，即使是大型基板实现更高精度的技术也是可能的。

2、关于小型面板的技术

（1）低温多晶硅（LTPS）技术

TFT液晶面板的驱动部有薄膜晶体管，主要是用非晶硅制成。如图4所示的LTPS（低温多晶硅）可获得30-100cm2/V？？s的TFT电子迁移率，驱动IC作在面板周边。SRAM等内藏式也开始实用化了，现在主要在小型面板上的适用。

LTPS，为了将n沟道TFT与p沟道TFT作成CMOS构造，与a-SiTFT相比，需要更多的掩膜板数，同时，LTPS特有的技术，为结晶化使用的激光退火装置与离子注入装置非常关键，工程长度也会增加。此外，与a-Si相比，更加细微的图案精度与高温下CVD成膜也是必要的。

对画面尺寸大型化、低成本来讲，与a-Si相比有不利的方面。基于TFT性能的提高以及某些控制机能的内藏，终归目的是将表示画面周围的附属机能全部搭载在玻璃基板上。

（2）柔性液晶

可以弯曲的显示，是在塑料基板上制作有机EL显示，这种技术有望受到人们关注。有机EL是在基板上制作发光素子，采用容易弯曲的构造。相对来讲，液晶显示是在2枚基板上，若要实现柔性显示还需要下一番功夫。

目前已经公开发表的技术是在2枚薄的塑料基板间形成聚合体格子状的壁，在2枚基板内密着的有可弯曲但不可剥离的构造上形成液晶薄膜、多晶硅等成盒工艺，将基板尽可能削成最薄，这就是“曲面彩色显示”。

3、投影用液晶技术

至此，所有直视型都是在玻璃基板上制成后注入液晶，最近使用半导体技术在晶元或是石英晶片上制作。这样制成的元件内的芯片要比直视型的尺寸小，画素尺寸相应会减小，不足直视型的1/10。

虽然阵列工程使用半导体生产线，但成盒工程同直视型一样使用液晶专用生产线制造。高温多晶硅乃至结晶硅的使用与LTPS相同，驱动回路是作在TFT阵列基板的周边。

4、立体显示

关于用液晶显示实现立体视觉，近期急速的推进于实用化。目前，为了看到立体画像，使用多个画素，结果使显示映像变得粗糙。为了克服这一缺陷，要求有更高精细的显示，为放映出立体画像还有待进一步探讨研究。

5、环境对应

液晶面板与显像管相比消耗能源较少，节省空间，是节能的显示器，期望着降低地球环境负荷做贡献的评价。一方面，在制造阶段对环境的影响较大，关于液晶面板制造阶段的课题，主要有以下三项：

（1）防止地球温暖化：制造阶段具有温室效应的气体如PFC、SF6等排出量的减少，制造LCD时的耗电量的降低。排气的除害与排出控制技术、高效率的生产装置与洁净房等。

（2）有害物质使用量的消减：寻找取代物质、取代工艺。

（3）构筑循环型经济社会，向着合理化的液晶面板生产、再利用、可循环方向发展。制造阶段，废弃基板的回收或是ITO等稀少资源的回收再利用等。

在以环境对策为前提的情况下，进行制品的设计、工艺技术，而后进行工场构筑等，这些不仅仅是生产面板厂家，而且是赋予设备厂家、材料厂家共同的任务。若是对环境对应有所怠慢的话，将会付出沉重的代价。今后，环境问题是一个绝对不可以忘记的极为重要的项目。

6、液晶显示的未来

液晶显示市场是在以笔记本电脑、监视器市场为中心成长起来的。进入21世纪的今天，以大型电视、手机为中心，移动领域等的市场不断扩大，液晶显示正在向着更大产业化飞跃。

新时代的液晶显示，是信息化社会窗口连接的关键性装置，负有重要的使命。它不再是单纯素子的使用，而是成为人机界面的连接窗口，在人们感叹其超大信息量的同时，人也成为信息窗口。时代向着多元化方向发展，用于显示的液晶制品也在多样化，为了各种制品实现市场化，在各自对应的技术是必不可少的。市场上各种各样的竞争产品已相继登场。在这种竞争与不断的切磋中，液晶显示成为FPD的领头羊。

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