Altatech Semiconductor获得德国科研机构的CVD设备订单

时间：2011-02-13来源：Altatech

　　Altatech Semiconductor获得了一份多功能AltaCVD平台订单，该订单来自德国慕尼黑Fraunhofer Research Institution。该200mm AltaCVD系统可用于等离子体增强CVD工艺，也可用于低于气压的CVD工艺，Fraunhofer中心将用该设备在硅晶圆和SOI晶圆上淀积介质层。

关键词： Altatech CVD

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