解密16Gb MLC NAND闪存表象下的技术细节
图2:16Gbit闪存的多晶硅电容结构,图中显示了低位板接头。IMFT的4G、16Gbit NAND闪存
图3:IMFT的16Gbit MLC闪存的金属层2和层3采用铜双镶嵌工艺,金属层1采用钨双镶嵌工艺
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