基于单片机的静电探针自动测量系统
2 系统硬件设计
2.1 扫描电压产生模块
根据静电探针测量理论，要获得，I-V特性曲线，需要在探针两端加±50V的扫描电压。该系统通过MAX531产生土2.048 V的电压，经PA81J放大后产生±50V的扫描电压，满足静电探针测量的要求。
MAX531是美信集成半导体公司生产的12位串行D/A转换器，采用±5V供电，内置单电源CMOS运算放大器，其最大工作电流仅为260μA，具有很好的电压偏移、增益和线性度，单片机通过SPI接口对其进行控制。
MAX531双极性输出接法如图3所示。
PA81J是APEX公司生产的功率放大器，双电源供电、耐压高、输出电压范围宽、偏置电流小、输出电流大，典型的应用电路如图4所示。
下面给出MAX531的C语言驱动程序：
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