Imec发布EUV掩膜缺陷评估方面的成果

时间：2011-04-20来源：Imec

　　Imec联合合作伙伴发布两份EUV掩膜评估结果，结果显示EUV供应商须在检测掩膜缺陷能力方面进行改善。并与Zeiss SMS合作通过实验演示了一项消除缺陷的补偿技术。

关键词： Imec EUV掩膜

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