MEMS压力传感器及其应用
参考文献：
[1]颜重光.XSY系列远传数字压力表[J].传感器技术,1990,01
[2]颜重光.两线制压力变送器[J].电子技术,1992,11
[3]颜重光.新型实用传感器应用指南[M].北京:电子工业出版社,1998
[4]颜重光.TPMS的设计方案思考[J].电子必威娱乐平台 ,2004,12
[5]颜重光.传统半导体厂商对MEMS的思考[R/OL].(2008-01-31). http://www.eepw.com.cn/article/78478.htm
关键词： 华润矽威 集成电路 MEMS压力传感器 惠斯顿电桥 硅薄膜应力杯 硅压阻式压力传感器 硅电容式压力传感器 200906
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