瞄准中国芯片制造机遇 巴斯夫满足7nm电子级硫酸装置投入运营
作者 李健
中国芯片制造的快速发展趋势，不仅吸引众多半导体制造行业的企业，对相关产业链的企业同样巨大的商机所在，全球领先的化工公司巴斯夫5月30日宣布其位于浙江嘉兴的新建电子级硫酸装置正式投入运营，将主要服务于国内日益增长的半导体制造行业。据悉，巴斯夫嘉兴工厂一期可生产12000吨电子级硫酸，今年年底投产的二期项目将使产能翻番。
巴斯夫的新电子级硫酸套新装置位于上海西南的浙江省嘉兴市海滨城镇乍浦，配备了最先进的技术，将生产最高品质的硫酸。因为在制造小于10纳米单位数节点晶片的过程中需要经过数百道清洗工序，新装置所生产的硫酸将主要用于此过程中半导体晶片的清洁。这一装置拥有先进的质量分析设备和配有专用无尘室的分析实验室，旨在满足中国电子行业客户的未来需求。巴斯夫嘉兴装置所生产的硫酸在性能水平上已经超越了当今速度最快、性能最优的半导体标准要求，其质量与稳定性在业内首屈一指。嘉兴装置依托巴斯夫全球研发网络与专业生产技术，成功搭建出生产工艺的复杂架构，并实施质量管理专有体系。
巴斯夫电子材料业务部亚太区副总裁言甯璿博士表示：“嘉兴的新电子级硫酸装置是巴斯夫在中国电子材料市场持续增长与拓展的又一重要举措。中国已成为全球最大电子材料市场之一，而且还在不断成长，我们很高兴能够参与这一增长势头。我们将更贴近客户，为他们提供更迅捷、更高效的化学解决方案、更可靠的供应和更稳定的品质。”负责中国区业务的巴斯夫电子材料中国区总经理窦峥表示： “巴斯夫也很高兴地看到了其中蕴藏着巨大的商机，在现有的基础上还将积极投资和持续在中国的投入，并已经规划了发展路线图。”
关键词： 中国芯片制造 巴斯夫 新电子级硫酸装置 201808
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