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　　式中：

　　VM 为参考电压2 5 V; Ic 为2个积分器的充电电流， 这里取常数5 A; fOSC为参考振荡器频率范围，其由被测电容的最小值决定。

　　2 硬件电路及软件设计

　　2. 1 系统设计

　　该系统主要以CAV424检测芯片和微处理器控制模块为核心， 另外还有输出显示模块以及电源模块等。系统框图如图2所示。

　　图2 系统框图。

　　CAV424检测芯片在系统中主要任务是将传感器的差动电容信号转换为可测的电压信号。差动式压力传感器的低压端连接C X1参考电容端，高压端连接C X2被测电容端， 这样连接可以保证输出电压始终为正。

　　2. 2 电容检测电路设计

　　根据硅电容压力传感器核心器件可看成由中心可动电极和两边的固定电极组成的2个可变电容， 其敏感电容可以简单地认为是平板电容，而平板电容公式为：

　　并且将C X1参连接到差压的高压端， C X2连接到低压端。由此可得C X1参和C X2表达式：

关键词： CAV424 电容式 压力传感器