降低成本提高效率 MEMS动态晶圆测试系统

时间:2013-10-14来源:网络
ans: 2; widows: 2; webkit-text-stroke-width: 0px">一个MEMS电容的加速度计通过两种生产流程来制造。一种流程使用传统的晶圆测试方法,而另外一种流程使用动态晶圆测试方法。STI3000动态晶圆测试的数据使得最终器件级测试的合格率提高了40%。

MEMS传统测试方法和动态测试方法对比

降低成本提高效率 MEMS动态晶圆测试系统

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关键词: MEMS 动态 晶圆测试

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