电子产品世界

用于角度测量的圆编码器（角度传感器）也已开发出可进行绝对测量的新产品。如海登海因公司已开发出可检测绝对位置角度的绝对测量型圆编码器RCN827，其特点是：①采用φ100mm大口径中空轴；②外表设有油槽，可排除冷却润滑液；③配有自共振频率范围广的软件，可控制性能良好；④最高操作速度300rpm；⑤最小分辨力为27bit/r。

为了满足设备小型化的测量要求，西铁城钟表公司开发出30×16.5mm极小尺寸的长编码器测量单元，最小读数1μm，量程3mm。

在齿轮测量方面，对形状精度要求极为严格，大阪精密机械公司开发出一种高精度齿轮测量仪MGL－26（见图1），其特点是：①采用高精度激光位置检测传感器，可精密测量出齿面形状；②可自动计算出误差值；③由于采用激光测量，可避免过去测量机驱动系统产生的振动；④测量重复精度0.3μm，最小分辨力达1nm。

在轴类工件测量方面，已开发出采用CCD阵列传感器的非接触测量技术，可在数10s时间内，测量出旋转轴的长度、直径、同轴度、圆度、重直度及跳动等多种数据。如Tesa公司开发出一种CNC非接触式轴类零件测量仪TESASCAN，其测量精度为2+0.01Dμm（D为被测量件的直径）。

微细、小型零件的测量不断增多

在圆度、圆柱度测量仪方面，对其测量精度的要求进一步提高，尤其是随着微小孔和微细零件测量需求的增多，各公司相继开发出能够满足高精度测量指标的产品。

Taylor Hobson公司开发出一种全自动圆度测量仪Talyrond295，其特点是：①依靠高速调同心和调水平机构，工件能很容易的迅速调整安装。由于工件和仪器发生干涉的可能性小，测量范围广；②采用新开发的可动防振台、防风罩，测量精度稳定；③在机器校正方面，已获得英国UKAS（英国检测协会）的检测鉴定保证书规定的各种相关数据，便于用户购置该机后，进行对比检测；④配有高速找正机构及水平测量器，工件可快速定位进行测量。该公司负责人指出：“目前，圆度测量仪和表面粗糙度检查仪虽已制定了行业标准，但只能在表面质量和圆度精度测量方面满足用户的需要。随着自动化的迅速进展，广大用户要求快速测量工件的整体形状精度，这已成为该领域近期的发展趋势。”“该领域目前正由接触式测量向非接触测量过渡，Taylor Hobson公司开发出一种综合测量仪CLI 2000，可在大范围（□200mm）采用接触式和非接触式两种方式进行测量。公司还销售一种与超精密镜面加工机床NANOFORM850（纳米级）配套的测量仪，目前，公司正以超精密测量技术为战略性开发方向。”

在表面粗糙度测量方面，各公司已开发出能一次将表面粗糙度和轮廓形状检测出来的表面形状测量仪。如三丰公司的CS-5000CNC，可自动测量工件的表面形状，而且可同时对多个同一类型或不同类型工件进行测量。东京精密公司开发出一种牌号为SURFCOM 2000 DX的测量仪，驱动部分采用直线电机，可实现低振动高速驱动，测量精度和测量效率均大幅度提高。

激光测量系统方面，雷尼肖公司开发的ML 10测量系统适用于机械加工现场，可保持很高的可靠性，定位精度为±0.7ppm（0～40℃条件下），分辨力为0.001μm，可用于超精密测量领域。东京贸易技术系统公司的Leica激光跟踪仪，利用激光线性光传感器进行非接触测量，测量范围的半径达40m，测量精度为25μm/2.5m。

在图像测量系统方面，三丰公司开发出一种快速扫描系统Quick vision，它可以不停止地进行高速图像测量，测量效率比过去提高数倍。YKT公司开发出的显微摄像系统，是在美国OGP公司生产的直接录像显微镜（VDM）上使用配置光纤光源的EDF镜片，能显示出大深度小孔和看不见的被测物体，获得彩色三维图像。

1 2 3

关键词： 测量技术 图像测量系统 形状测量