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通过具体测试对系统进行了验证。对比室温和77 K时样品噪声，可以看出噪声幅值降了一个数量级。为了降低低频1／f噪声的干扰，提取电流噪声功率谱299～300 kHz高频段的平均值。如图2所示，从图中可以看出高频段是白噪声。在室温下，被测器件噪声幅值在1．2×10-15V2／Hz左右；而77 K时，在相同偏置条件下测试了样品的噪声，电流噪声幅值为1．5×10-16V2／Hz，可知热噪声被减少了90％左右，可见77 K时热噪声被明显抑制。同时测量了低温下系统的背景噪声，它的噪声幅值在4×10-17V2／Hz左右，而低温下样品的噪声幅值为1．5×10-16V2／Hz，因此低温下系统背景噪声相对较小，可以忽略。该测试系统能满足低温下散粒噪声测试的要求。

3 测试结果及讨论
实验样品选用Ln5391整流二极管。具体步骤为，分别设置V=0．5 V和V=1．0 V，测试器件在开启电压下的器件散粒噪声。在功率谱提取时，取270～300 kHz频率段电流噪声功率谱的平均值，这样既可以去除低频1／f噪声对测试结果的影响，也可以通过平均值算法使分析的测试数据更加准确。表1为被测二极管典型频率点噪声功率谱测试值。图3为器件工作在0．5 V和1．0 V条件下，电流噪声功率谱的变化情况。从图中可以看出，随着开启电压的升高，器件的散粒噪声是变大的。

4 结语
针对散粒噪声难以测量的特点，本文提出了一种低温散粒噪声测试方法。在屏蔽环境下，将被测器件置于低温装置内，有效抑制了外界电磁波和热噪声的干扰，采用背景噪声充分低的放大器以及偏置器、适配器等，建立低温散粒噪声测试系统。应用该系统对PN结二极管进行噪声测试，得到了很好的测试结果，并分析该器件散粒噪声的特性。
本文的工作为器件散粒噪声测试提供了一种新方法，并对PN结二极管散粒噪声特性进行了测试、分析。

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关键词： PN结 二极管 噪声测试 方法研究