电子产品世界

在传感器静电容量检测电路中，富士公司采用了混有数字/模拟电路的ASIC，不仅实现了高速检测，而且，降低电路中电磁干扰带来的检测误差，同时提高了检测精度、长期稳定性和可靠性。

FCX-AⅡ系列变送器的另一个独创技术是基于双温度传感器的温度补偿。通过内置在传感器单元中的温度传感器和内置在电子装置中的温度传感器，分别对传感器部分和电路部分进行温度补偿，提高变送器的温度特性。

3.2西门子公司SITRANSPDSⅢ系列压力变送器

采用西门子专利技术的硅材料传感器，DSⅢ系列压力变送器适用于各种压力、差压、绝压和液位测量。它应用模块化设计，由传感器单元和电子放大单元组成。传感器单元包括差压传感器、绝压传感器和温度传感器。通过绝压传感器和温度传感器，对差压传感器全量程范围内的静压特性和温度特性进行充分的计算补偿，使DSⅢ系列差压变送器具有非常优异的静压特性和温度特性。

DSⅢ系列压力变送器有300年一次的故障发生率，是为应用于高安全和可靠性要求的场合而设计的。只需一台DSⅢ系列压力变送器即可获得与2台常规变送器相同的安全等级。这意味着安装、运行和维护的成本大大降低。DSⅢ系列压力变送器的精度可达0.075%，5年长期漂移小于0.25%(实测1年)。

DSⅢ系列智能差压变送器，结构上具有独立的压力测量敏感元件和独特的不起测量作用的中心膜片。测量元件两端压力通过密封膜片和填充液传递给硅压力传感器。当压力超过测量极限时，过载保护膜片产生变形，直至其贴到测量元件的内壁上，以保护硅压力传感器避免过压损坏。不起测量作用的中心膜片结构使DSⅢ系列压力变送器具有极好的过压保护能力。西门子硅传感器采用压阻式结构设计。测量膜片由于受到所施加的差压而变形，安装在它上面的4只电阻应变计的阻值随之变化，并使得电阻桥路的输出电压与压差成比例的变化。

在进行绝压测量时，DSⅢ系列变送器需要使用绝压测量元件。被测压力通过隔离膜片和填充液传递到绝压传感器，使测量膜片发生形变。绝压传感器采用压阻式结构设计，测量原理与差压传感器相同。

3.3国产的压力变送器

国产的压力变送器，如西安交通大学维纳仪器有限责任公司在MEMS压力传感器科研及其产业化方面进行了一系列尝试，其生产的WYB1型压阻式压力变送器采用半导体扩散硅压力传感器及专用放大电路组成，具有精度高、电路调试方便、可靠性高、抗干扰能力强等特点，且具有一体化结构，便于现场的安装和使用，外形小巧美观，具有多种结口形式和多种引线方式。

本文分析了石化行业对压力变送器的需求，微压力传感器具有许多传统压力传感器不具备的优点，能够满足石化行业对压力传感器的要求。介绍了当前石化领域正在使用的MEMS压力传感器及其结构特点;对比国内外厂商生产的压力传感器性能，明确了压力传感器国产化问题的关键是如何提高传感器长期稳定性问题。

关键词： 应用 研究 传感器 压力 行业 国产化 石化