微波多层板反钻孔之金属化孔互连

时间:2011-07-12来源:网络
3.2.2.2 反面反钻孔(8-8-1)

  位置1(左上部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度241228130.0325
介质层厚度228461820.455
反钻孔深度228421860.465

  位置2(左下部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度299284150.0375
介质层厚度2841021820.455
反钻孔深度300942060.515

  位置3(右上部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度271258130.0325
介质层厚度258781800.45
反钻孔深度264731910.4775

  位置4(右下部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度275260150.0375
介质层厚度260821780.445
反钻孔深度275752000.5

  位置5(中心部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度274260140.035
介质层厚度260851750.4375
反钻孔深度248791690.4225

  4 讨论

  4.1 反钻孔深度一致性

  4.1.1 单面反钻孔(正面8-1-1)

位置
反钻孔深度0.48
刚好全钻掉内层铜
0.4925
刚好全钻掉内层铜
0.48
钻掉内层铜一半略少
0.47
刚好钻至内层铜
0.485
钻掉内层铜一半

  4.1.2 两面反钻孔(正面8-1-1 、反面8-8-1)

  4.1.2.1 正面反钻孔(8-1-1)

位置
反钻孔深度0.455
钻掉内层铜一半
0.475
刚好全钻掉内层铜
0.435
差内层铜厚至内层铜
0.4775
稍钻掉一点内层铜

0.5275
全掉钻内层铜还过一些

  4.1.2.2 反面反钻孔(8-8-1)

位置
反钻孔深度0.465
刚好钻至内层铜
0.4775
钻掉内层铜一小半
0.4225
差内层铜厚至内层铜
0.515
刚好全钻掉内层铜

0.5
刚好全钻掉内层铜

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关键词: 多层板 钻孔 金属 互连

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