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MKS Instruments为半导体和生物制药应用推小巧、低电流的压力测量解决方案631B。631B采用超小型设计，其安装外壳减小了40%，很容易设计到新型小巧处理工具中。正常工作时电流小于1A(比现有压力计小50%)，631B完整的电路只要求

关键词： MKS Instruments

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